Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí CO và CO2 trên cơ sở vật liệu dây nano SnO2
Việt Nam đang trong quá trình hội nhập sâu rộng vào nền kinh tế thế giới và khu
vực. Nền kinh tế nước ta tiếp tục phát triển theo cơ chế thị trường định hướng xã hội chủ
nghĩa. Sự phát triển mạnh mẽ của các vùng cũng như các ngành kinh tế trọng điểm, cùng
với sự mở rộng và phát triển của các cơ sở kinh tế tư nhân, các khu công nghiệp, tốc độ đô
thị hóa ở hầu hết các địa phương đã và đang diễn ra nhanh chóng, tất yếu dẫn đến hàng loạt
các vấn đề liên quan đến ô nhiễm môi trường nói chung cũng như môi trường khí. Không
khí bị ô nhiễm là do các khí độc hại như CO, CO2, H2S, NO2, NO, v.v có nồng độ vượt quá
giới hạn cho phép, chúng sinh ra trong quá trình sản xuất công nghiệp, quá trình cháy của
các loại nhiên liệu hóa thạch cũng như khí thải từ các phương tiện giao thông. Khí CO và
CO2 là những khí độc mà khó có thể phát hiện bằng các giác quan của con người vì chúng
không màu, không mùi. Do đó, việc phát hiện và cảnh báo sự có mặt của các khí độc hại
này nhằm kiểm soát chất lượng không khí trong môi trường sống là rất cần thiết và quan
trọng đối với sức khỏe con người cũng như mang lại những lợi ích kinh tế cho xã hội. Bên
cạnh đó, việc đo đạc nhằm phát hiện sự có mặt của khí CO, CO2 còn có thể ứng dụng trong
một số lĩnh vực khác nhau như cảnh báo cháy nổ, điều khiển quá trình cháy của động cơ
đốt trong, v.v.
Để phát hiện sự có mặt của các khí độc có trong không khí người ta có thể dùng các
thiết bị như sắc ký khí, thiết bị phân tích phổ hồng ngoại, thiết bị phân tích phổ khối lượng,
v.v. Tuy nhiên, các thiết bị này thường có giá thành cao, cấu tạo cũng như vận hành phức
tạp và thời gian phân tích lâu [84]. Để khắc phục những hạn chế trên, các loại cảm biến
hóa học thu hút được sự quan tâm nghiên cứu. Cảm biến khí trên cơ sở oxit kim loại bán
dẫn đã được nghiên cứu từ những năm 60 của thế kỷ trước [133]. Trong các nhóm nghiên
cứu về vật liệu dây nano, nhóm nghiên cứu của Kolmakov [3,4,115] có nhiều công trình có
giá trị liên quan đến vấn đề ứng dụng vật liệu dây nano cho cảm biến khí. Từ các công
trình này, có thể nhận thấy rằng các loại cảm biến này có độ nhạy cao, đặc biệt là công suất
tiêu thụ bé hơn rất nhiều so với các loại cảm biến truyền thống. Tuy nhiên, do việc chế tạo
dây nano và các linh kiện dây nano dạng đơn sợi, đa sợi và dạng lưới gặp một số khó khăn
nhất định về công nghệ. Vì lý do đó việc nghiên cứu tìm kiếm các công nghệ ít phức tạp để
chế tạo cảm biến khí trên cơ sở dây nano oxit kim loại bán dẫn, cũng như các hiểu biết sâu
sắc về tính chất nhạy khí của vật liệu trở nên cấp thiết và có tính thời sự cao
Tóm tắt nội dung tài liệu: Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí CO và CO2 trên cơ sở vật liệu dây nano SnO2
i MỤC LỤC DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT .............................................................. vi DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU .......................................................................................... vii DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ ............................................................................................... vii MỞ ĐẦU ............................................................................................................................... 1 CHƯƠNG 1:. ......................................................................................................................... 5 TỔNG QUAN . ...................................................................................................................... 5 1.1. Mở đầu ......................................................................................................................... 5 1.2. Phân loại các cấu trúc nano một chiều ........................................................................... 6 1.3. Phương pháp chế tạo vật liệu có cấu trúc nano một chiều .............................................. 6 1.3.1. Phương pháp chế tạo từ trên xuống (top-down) ...................................................... 6 1.3.2. Phương pháp từ dưới lên (bottom-up) ..................................................................... 7 1.4. Một số ứng dụng quan trọng của vật liệu nano một chiều .............................................. 7 1.4.1. Ứng dụng làm laser ................................................................................................ 7 1.4.2. Ứng dụng trong chế tạo pin mặt trời ....................................................................... 8 1.4.3. Ứng dụng trong linh kiện phát xạ trường ................................................................ 9 1.4.4. Ứng dụng trong cảm biến khí ................................................................................. 9 1.5. Cơ chế nhạy khí của cấu trúc nano một chiều .............................................................. 10 1.5.1. Cảm biến khí trên cơ sở dây nano SnO2 ................................................................ 10 1.5.2. Cơ chế nhạy khí của vật liệu cấu trúc nano một chiều ........................................... 13 1.5.2.1. Cơ chế nhạy khí chung của vật liệu oxit kim loại bán dẫn .............................. 13 1.5.2.2. Cơ chế nhạy khí của vật liệu cấu trúc nano một chiều (dây nano) ................... 15 1.6. Tổng quan về vật liệu dây nano SnO2 ......................................................................... 16 ii 1.6.1. Cấu trúc của vật liệu dây nano SnO2 ..................................................................... 16 1.6.2. Tính chất quang của dây nano SnO2 ..................................................................... 18 1.6.3. Tính chất điện của dây nano SnO2 ........................................................................ 19 1.6.4. Một số phương pháp chế tạo dây nano SnO2 ......................................................... 20 1.6.4.1. Phương pháp bốc bay nhiệt theo cơ chế hơi lỏng rắn (VLS) ........................... 20 1.6.4.2. Phương pháp bốc bay chùm điện tử................................................................ 24 1.6.4.3. Phương pháp mọc trong dung dịch ................................................................. 26 1.6.4.4. Phương pháp sử dụng khuôn .......................................................................... 27 1.7. Dây nano SnO2 ứng dụng trong cảm biến khí .............................................................. 29 1.7.1. Các đại lượng đặc trưng cơ bản của cảm biến khí ................................................. 29 1.7.1.1. Độ đáp ứng - độ nhạy ..................................................................................... 29 1.7.1.2. Độ chọn lọc ................................................................................................... 30 1.7.1.3. Thời gian đáp ứng và thời gian hồi phục ........................................................ 30 1.7.1.4. Độ ổn định – độ bền ....................................................................................... 30 1.7.2. Một số phương pháp chế tạo cảm biến dây nano SnO2 .......................................... 30 1.7.2.1. Phương pháp chế tạo gián tiếp (post-synthesis) .............................................. 30 1.7.2.2. Phương pháp chế tạo mọc trực tiếp (on-chip growth) ..................................... 32 1.7.3. Biến tính bề mặt dây nano SnO2 ........................................................................... 33 1.8. Kết luận chương 1 ...................................................................................................... 35 CHƯƠNG 2: CHẾ TẠO VÀ TÍNH CHẤT NHẠY KHÍ CỦA DÂY NANO SnO2 .......... 36 2.1. Giới thiệu ................................................................................................................... 36 2.2. Chế tạo dây nano SnO2 bằng phương pháp bốc bay nhiệt ............................................ 37 2.2.1. Thiết bị và hóa chất .............................................................................................. 37 iii 2.2.2. Quy trình thực nghiệm chế tạo dây nano SnO2...................................................... 38 2.2.3. Kết quả nghiên cứu hình thái và cấu trúc của vật liệu ........................................... 41 2.2.3.1. Kết quả chế tạo dây nano SnO2 sử dụng bột Sn .............................................. 41 2.2.3.2. Kết quả chế tạo dây nano SnO2 sử dụng bột SnO ........................................... 46 2.2.4. Khảo sát một số yếu tố ảnh hưởng tới quá trình chế tạo dây nano ......................... 48 2.2.4.1. Ảnh hưởng của tốc độ tăng nhiệt .................................................................... 48 2.2.4.2. Ảnh hưởng của thời gian mọc ........................................................................ 50 2.2.4.3. Ảnh hưởng của chiều dày lớp xúc tác ............................................................. 51 2.3. Chế tạo và tính chất nhạy khí của cảm biến dây nano SnO2 ......................................... 52 2.3.1. Hệ khảo sát tính chất nhạy khí của vật liệu ........................................................... 52 2.3.2. Cảm biến chế tạo bằng phương pháp cạo-phủ (Paste-coating) ............................... 54 2.3.3. Cảm biến chế tạo bằng phương pháp nhỏ-phủ (Drop-coating) .............................. 55 2.3.4. Cảm biến chế tạo bằng phương pháp mọc trực tiếp kiểu bắc cầu (Junction- nanowires) ..................................................................................................................... 58 2.3.5. Cảm biến chế tạo bằng phương pháp mọc trực tiếp kiểu mạng lưới (Network- nanowires) ..................................................................................................................... 66 2.4. Kết luận chương 2 ...................................................................................................... 71 CHƯƠNG 3: CẢM BIẾN KHÍ CO2 TRÊN CƠ SỞ DÂY NANO SnO2 BIẾN TÍNH LaOCl .................................................................................................................................. 72 3.1. Mở đầu ....................................................................................................................... 72 3.1.1. Giới thiệu về khí CO2 ........................................................................................... 72 3.1.2. Tình hình nghiên cứu cảm biến khí CO2 ............................................................... 73 3.2. Kết quả nghiên cứu chế tạo cảm biến khí CO2............................................................. 75 3.2.1. Thực nghiệm ........................................................................................................ 75 iv 3.2.2. Kết quả chế tạo và khảo sát tính chất của vật liệu ................................................. 76 3.2.3. Kết quả khảo sát tính chất nhạy khí CO2 của cảm biến ......................................... 79 3.2.3.1. Ảnh hưởng của nhiệt độ ủ .............................................................................. 79 3.2.3.2. Ảnh hưởng của nồng độ dung dịch biến tính .................................................. 82 3.2.3.3. Thời gian đáp ứng và hồi phục của cảm biến .................................................. 84 3.2.3.4. Độ chọn lọc của cảm biến .............................................................................. 86 3.2.3.5. Cơ chế nhạy khí của cảm biến ........................................................................ 88 3.3. Hoàn thiện sản phẩm cảm biến khí CO2 bằng công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) .......... 91 3.3.1. Quy trình chế tạo cảm biến sử dụng công nghệ MEMS......................................... 92 3.3.2. Kết quả khảo sát tính chất nhạy khí của cảm biến ................................................. 96 3.4. Kết luận chương 3 .......................................................................................................... 97 CHƯƠNG 4: CẢM BIẾN KHÍ CO TRÊN CƠ SỞ DÂY NANO SnO2 BIẾN TÍNH Pd .. 99 4.1. Mở đầu ....................................................................................................................... 99 4.1.1. Giới thiệu về khí CO ............................................................................................ 99 4.1.2. Tình hình nghiên cứu về cảm biến khí CO .......................................................... 101 4.2. Kết quả nghiên cứu chế tạo cảm biến khí CO ............................................................ 103 4.2.1. Cảm biến dây nano SnO2 biến tính Pd bằng phương pháp nhỏ phủ ..................... 103 4.2.1.1. Quy trình chế tạo cảm biến và biến tính Pd bằng phương pháp nhỏ phủ ....... 103 4.2.1.2. Kết quả chế tạo cảm biến và khảo sát tính chất nhạy khí .............................. 103 4.2.2. Cảm biến dây nano SnO2 biến tính Pd bằng phương pháp khử trực tiếp .............. 105 4.2.2.1. Quy trình biến tính Pd bằng phương pháp khử trực tiếp ............................... 105 4.2.2.2. Kết quả chế tạo cảm biến và khảo sát tính chất nhạy khí .............................. 106 4.2.3. Cảm biến dây nano SnO2 biến tính Pd trên điện cực thương phẩm ...................... 110 v 4.2.3.1. Quy trình chế tạo cảm biến trên điện cực thương phẩm ................................ 110 4.2.3.2. Kết quả chế tạo cảm biến và hình thái của vật liệu ....................................... 111 4.2.3.3. Kết quả khảo sát tính chất nhạy khí CO........................................................ 115 4.3. Hoàn thiện sản phẩm cảm biến khí CO chế tạo bằng công nghệ MEMS .................... 120 4.3.1. Quy trình chế tạo cảm biến sử dụng công nghệ MEMS....................................... 120 4.3.2. Đặc trưng nhạy khí CO của cảm biến ................................................................. 121 4.4. Kết luận chương 4 .................................................................................................... 122 KẾT LUẬN CHUNG VÀ KIẾN NGHỊ............................................................................ 124 DANH MỤC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ .................................................................. 126 TÀI LIỆU THAM KHẢO ................................................................................................ 128 vi DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT TT Ký hiệu, viết tắt Tên tiếng Anh Nghĩa tiếng Việt 1. CVD Chemical Vapour Deposition Lắng đọng hóa học pha hơi 2. VLS Vapour Liquid Solid Hơi-lỏng-rắn 3. VS Vapour Solid Hơi-rắn 4. UV Ultraviolet Tia cực tím 5. MFC Mass Flow Controllers Bộ điều khiển lưu lượng khí 6. ppb Parts per billion Một phần tỷ 7. ppm Parts per million Một phần triệu 8. SEM Scanning Electron Microscope Kính hiển vi điện tử quét 9. TEM Transmission Electron Microscope Kính hiển vi điện tử truyền qua 10. XRD X-Ray Diffraction Nhiễu xạ tia X 11. FESEM Field Emission Scanning Electron Microsope Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường 12. HRTEM High Resolution Transmission Electron Microsope Hiển vi điện tử truyền qua phân giải cao 13. EDS/EDX Energy Dispersive X-ray Spectroscopy Phổ nhiễu xạ điện tử tia X 14. ITIMS International Training Institute for Materials Science Viện Đào tạo Quốc tế về Khoa học Vật liệu 15. MEMS Micro-Electro Mechanical Systems Hệ thống vi cơ điện tử 16. SMO Semiconducting Metal Oxides Oxit kim loại bán dẫn 17. JCPDS Joint Committee on Powder Diffraction Standards Ủy ban chung về tiêu chuẩn nhiễu xạ của vật liệu bột 18. Ra Rair Điện trở đo trong không khí 19. Rg Rgas Điện trở đo trong khí thử 20. S Sensitivity Độ hồi đáp/Độ đáp ứng 21. Donors Các tâm cho điện tử 22. Acceptors Các tâm nhận điện tử vii DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU Bảng 1.1. Thống kê một số công trình công bố về cảm biến khí trên cơ sở dây nano SnO2 ..10 Bảng 2.1. Dải nồng độ khí NO2 (sử dụng khí chuẩn NO2 0,1 %) .53 Bảng 3.1. Sản phẩm cháy của một số loại chất cháy [31] ..72 Bảng 3.2. Ảnh hưởng của khí CO2 đến sức khỏe con người [42] ..73 Bảng 3.3. So sánh độ đáp ứng khí CO2 (2000 ppm) của các loại cảm biến81 Bảng 4.1. Ảnh hưởng của nồng độ khí CO đến sức khỏe con người [42] .99 DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ Hình 1.1. Thống kê số lượng các công trình công bố liên quan đến vật liệu ZnO, SnO2, TiO2, In2O3 và WO3 trong 10 năm (2004-2013) [Nguồn ScienceDirect] ..6 Hình 1.2. Các cấu trúc một chiều: (a) sợi nano; (b) cấu trúc lõi-vỏ; (c) ống nano; (d) cấu trúc dị thể; (e), (f) đai/thanh nano; (g) cấu trúc hình cây; (h) cấu trúc nhánh; (i) dạng các nano cầu kết hợp; (j) dạng lò xo [162] 7 Hình 1.3. Cấu trúc răng lược (a); Ảnh quang học trường xa của phát xạ ánh sáng từ dây nano ZnO (b) và phổ phát xạ phụ thuộc vào năng lượng kích thích (c) [149]...9 Hình 1.4. Đặc trưng đáp ứng khí của cảm biến sử dụng hạt nano và dây nano SnO2..11 Hình 1.5. So sánh độ đáp ứng khí của cảm biến trên cơ sở hạt và dây nano SnO2 trước (a,c) và sau 46 ngày (b,d)..12 Hình 1.6. Cảm biến khí trên cơ sở transistor hiệu ứng trường dây nano SnO2: mô hình linh kiện FET dây nano (a), linh kiện FET dây nano (b) và đặc trưng nhạy khí O2 khi đo dòng nguồn máng IDS lúc có và không có O2.13 Hình 1.7. Cảm biến sử dụng hiệu ứng tự đốt nóng trên cơ sở đơn dây nano SnO2: (a) sự phụ thuộc của nhiệt độ đốt nóng vào dòng điện, (b) đặc trưng nhạy khí NO2 của cảm biến khi áp dòng điện 0,1 nA và 10 nA..13 viii Hình 1.8. Sơ đồ biểu diễn sự thay đổi điện trở của cảm biến bán dẫn loại n và p ...14 Hình 1.9. Mô hình giải thích sự thay đổi rào thế của vật liệu oxit kim loại bán dẫn đối với khí khử ...15 Hình 1.10. Mô hình giải thích cơ chế nhạy khí của dây nano ...16 Hình 1.11. Mô hình cấu trúc ô cơ sở của vật liệu SnO2 [28] ... n method, Industrial & Engineering Chemistry Research 48, pp. 2819-2825. [100] O.V. Manoilova, S.G. Podkolzin, B. Tope, J. Lercher, E.E. Stangland, J.M. Goupil, B.M. Weckhuysen (2004), Surface acidity and basicity of La2O3, LaOCl and LaCl3 characterized by IR spectroscopy, TPD and DFT calculation, Journal of Physical Chemistry 108, pp. 15770-15781. [101] O.V. Safonova, G. Delabouglise, B. Chenevier, A.M. Gaskov, M. Labeau (2002), CO and NO2 gas sensitivity of nanocrystalline tin dioxide thin films doped with Pd, Ru and Rh, Materials Science and Engineering C 21, pp. 105-111. [102] P.G. Li, X. Guo, X.F. Wang, W.H. Tang (2009), Synthesis, photoluminescence and dielectric properties of O-deficient SnO2 nanowires, Journal of Alloys and Compounds 479, pp. 74-77. [103] P. Manjula, S. Arunkumar, Sunkara V. Manorama (2011), Au/SnO2 an excellent material for room temperature carbon monoxide sensing, Sensors and Actuators B 152, pp. 168-175. [104] P. Yang, R. Yan, M. Fardy (2010), Semiconductor nanowire: what’s next? Nano Letters 10, pp. 1529-1536. [105] Q. Kuang, C.S. Lao, Z. Li, Y.Z. Liu, Z.X. Xie, L.S. Zheng and Z.L. Wang (2008), Enhancing the photon-and gas-sensing properties of a single SnO2 nanowires based nanodevice by nanoparticle surface functionalization, Journal of Physical Chemistry C 112, pp. 11539-11544. [106] Q.T. Khuc, X.H. Vu, D.V. Dang and D.C. Nguyen (2010), Influence of hydrothermal temperature on SnO2 nanorods formation, Journal of Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechology 1, pp. 025010. [107] Q. Zhao, X. Y. Xu, X. F. Song (2006), Enhaned field emission from ZnO nanorods via thermal annealing in oxygen, Applied Physics Letters 88, pp. 102-105. [108] R.K. Sharma, P.C.H. Chan, Z. Tang, G. Yan, I.M. Hsing, J.K.O. Sin (2001), 137 Investigation of stability and reliability of tin oxide thin-film for integrated micro- machined gas sensor devices, Sensors and Actuators B 81, pp. 9-16. [109] R.K. Joshi, Q. Hu, F. Alvi, N. Joshi, and A. Kumar (2009), Au decorated zinc oxide nanowires for CO sensing, Journal of Physical Chemistry C 113, pp. 16199-16202. [110] R.R. Kumar, K.N. Rao, A.R. Phani (2013), Self catalytic growth of SnO2 branched nanowires by thermal evaporation, Materials Letters 92, pp. 243-246. [111] R.R. Kumar, K.N. Rao, K. Rajanna, A.R. Phani (2013), Low temperature growth of SnO2 nanowires by electron beam evaporation and their application in UV light detection, Materials Research Bulletin 48, pp. 1545-1552. [112] R. Wang, H. He, L.C. Liu, H.X. Dai and Z. Zhao (2012), Shape-dependent catalytic activity of palladium nanocrystals for the oxidation of carbon monoxide, Catalysis Science & Technology 2, pp. 575-580. [113] S. Banerjee, A. Dan, D. Chakravorty (2002), Review synthesis of conducting nanowires, Journal of Materials Science 37, pp. 4261-4271. [114] S. Dmitriev, Y. Lilach, B. Button, M. Moskovits, A. Kolmakov (2007), Nanoengineered chemiresistors: the interplay between electron transport and chemisorption properties of morphologically encoded SnO2 nanowires, Nanotechnology 18, pp. 055707 (6pp). [115] S.V. Kalinin, J. Shin, S. Jesse, D. Geohegan, A. P. Baddorf, Y. Lilach, M. Moskovits and A. Kolmakov (2005), Electronic transport imaging in a multiwires SnO2 chemical field-effect transistor device, Journal of Applied Physics 98, pp. 44503-44511. [116] S. Wei, Y. Yu, M. Zhou (2010), CO gas sensing of Pd-doped ZnO nanofibers synthesized by electrospinning method, Materials Letters 64, pp. 2284-2286. [117] S.H. Hahn, N. Barsan, U. Weimar, S.G. Ejakov, J.H. Visser, R.E. Soltis (2003), CO sensing with SnO2 thick film sensors: role of oxygen and water vapour, Thin Solid Films 436, pp. 17-24. [118] S. Luo, P.K. Chu, W. Liu, M. Zhang, C. Lin (2006), Origin of low-temperature photoluminescence from SnO2 nanowires fabricated by thermal evaporation and annealed in different ambients, Applied Physics Letters 88, pp. 183112-183113. [119] S. Phadungdhitidhada, S. Thanasanvorakun, P. Mangkorntong, S. Choopun, N. Mangkorntong, D. Wongratanaphisan (2011), SnO2 nanowires mixed nanodendrites for high ethanol sensor response, Current Applied Physics 11, pp. 1368-1373. [120] S.P. Mondal, S.K. Ray, J. Ravichandran and I. Manna (2010), Temperature 138 dependent growth and optical properties of SnO2 nanowires and nanobelts, Bulletin of Materials Science 33, pp. 357-364. [121] S.S. Kim, J.Y. Park, S.W. Choi, H.G. Na, J.C. Yang, H.W. Kim (2011), Enhanced NO2 sensing characteristics of Pd-functionalized networked In2O3 nanowires, Journal of Alloys and Compounds 509, pp. 9171-9177. [122] S.R. Morrison (1997), The chemical physics of surface, Plenum Press, New York. [123] S. Park, H. Kim, C. Jin, S.W. Choi, S.S. Kim, C.Lee (2012), Enhanced CO gas sensing properties of Pt-functionalized WO3 nanorods, Thermochimica Acta 542, pp. 69-73. [124] S. Choopun, N. Hongsith and E. Wongrat (2012), Nanowires-Recent Advances, Chapter 1-Metal Oxide Nanowires for Gas Sensors, book edited by Xihong Peng, ISBN 978-953-51-0898-6, pp. 1-22. [125] S. Phadungdhitidhada, S. Thanasanvorakun, P. Mangkorntong, S. Choopun, N. Mangkorntong, D. Wongratanaphisan (2011), SnO2 nanowires mixed nanodendrites for high ethanol sensor response, Current Applied Physics 11, pp. 1368-1373. [126] S.W. Choi, S.S. Kim (2012), Room temperature CO sensing of selectivity grown networked ZnO nanowires by Pd nanodot functionalization, Sensors and Actuators B 168, pp. 8-13. [127] S. Mulmi, A. Hassan, P. P. Almao, V. Thangadurai (2013), Detecting CO2 at ppm level in synthetic air using mixied conducting double perovskite-type metal oxides, Sensors and Actuators B 178, pp. 598-605. [128] S.Y. Lee, Y.H. Shin, Y. Kim, S. Kim, S. Ju (2011), Emission characteristics of diameter controlled SnO2 nanowires, Journal of Luminescence 131, pp. 2565-2568. [129] T. Tao, Q. Chen, H. Hu, Y. Chen (2011), Tree-like SnO2 nanowires and optical properties, Materials Chemistry and Physics 126, pp. 128-132. [130] T. Krishnakumar, R. Jayaprakash, T. Prakash, D. Sathyaraj, N. Donato, S. Licoccia, M. Latino, A. Stassi and G. Neri (2011), CdO-based nanostructures as novel CO2 gas sensors, Nanotechnology 22, pp. 325501(8pp). [131] T. Zhang, L. Liu, Q. Qi, S. Li, G. Lu (2009), Development of microstructure In/Pd- doped SnO2 sensor for low-level CO detection, Sensors and Actuators B 139, pp. 287-291. [132] Trends in Atmospheric Carbon Dioxide, [133] T. Seiyama, A. Kato, K. Fulishi, M. Nagatami (1962), A new detector for gaseous components using semiconductive thin films, Analytical Chemistry 34, pp. 1502- 139 1503. [134] T. Zhanga, L. Liu, Q. Qi, S. Li, G. Lu (2009), Development of microstructure In/Pd- doped SnO2 sensor for low-level CO detection, Sensors and Actuators B 139, pp. 287- 291. [135] U. Hoefer, G. Kulner, W. Schweizer, G. Sulz, K. Steiner (1994), CO and CO2 thin- film SnO2 gas sensors on Si substrates, Sensors and Actuators B 22, pp. 115-119. [136] V. Sysoev, J. Goschnick, T. Schneider, E. Strelcov, A. Kolmakov (2007), A gradient microarray electronic nose based on percolating SnO2 nanowire sensing elements, Nano Letters 7, pp. 3182-3188. [137] W. Yin, B. Wei, C. Hu (2009), In situ growth of SnO2 nanowires on the surface of Au-coated Sn grains using water-assisted chemical vapor deposition, Chemical Physics Letters 471, pp. 11-16. [138] X. Xu, J. Zhuang, X. Wang (2008), SnO2 quantum dots and quantum wires: controllable synthesis, self-assembled 2D architectures, and gas-sensing properties, J. Am. Chem. Soc. 130, pp. 12527–35. [139] W.S. Kim, D. Kim, K.J. Choi, J.G. Park and S.H. Hong (2010), Epitaxial Directional Growth of Tin Oxide (101) Nanowires on Titania (101) substrate, Crystal Growth & Design 10, pp. 4746-4751. [140] X. Chen, C.K.Y. Wong, C.A. Yuan, G. Zhang (2013), Nanowire-based gas sensors: Review, Sensors and Actuators B 177, pp. 178-195. [141] X. Li, J.H. Cho, P. Kurup, Z. Gu (2012), Novel sensor array based on doped tin oxide nanowires for organic vapor detection, Sensors and Actuators B 162, pp. 251- 258. [142] X. Xie, Z. Shao, Q. Yang, X. Shen, W. Zhu, X. Hong, G. Wang (2012), Controllable synthesis of SnO2 nanowires and nanobelts by Ga catalysts, Journal of Solid State Chemistry 191, pp. 46-50. [143] X. Li, R. Ramasamy, P.K. Dutta (2009), Study of the resistance behavior of anatase and rutile thick films towards carbon monoxide and oxygen at high temperatures and possibilities for sensing applications, Sensors and Actuators B 143, pp. 308-315. [144] X.T. Zhou, F. Heigl, M.W. Murphy, T.K. Sham, T. Regier, I. Coulthard and R.I.R. Blyth (2006), Time-resolved X-ray excited optical luminescence from SnO2 nanoribbons: Direct evidence for the origin of the blue luminescence and the role of surface states, Applied Physics Letters 89, pp. 213109-213111. 140 [145] X.H. Vu, T.H.A. Ly, Q.T. Khuc, D.V. Dang, D.C. Nguyen (2010), Properties of SnO2 nanoparticles doped with several metal oxides by hydrothermal treatment, Journal of Advances in Natural Science: Nanoscience and Nanotechology 1, pp. 025014. [146] X.Y. Xue, Y.J. Chen, Y.G. Liu, S.L. Shi, Y.G. Wang, T.H. Wang (2006), Synthesis and ethanol sensing properties of indium-doped tin oxide nanowires, Applied Physics Letters 88, pp. 201907-201910. [147] Y. Shen, T. Yamazaki, Z. Liu, D. Meng, T. Kikuta (2009), Hydrogen sensors made of undoped and Pt-doped SnO2 nanowires, Journal of Alloys and Compounds 488, pp. L21-L25. [148] A.C. Yanes, J.D. Castillo, M. Torres, J. Peraza, V.D. Rodriguez, J. Mendez-Ramos. (2004), Nanocrystal-size selective spectroscopy in SnO2: Eu 3+ semiconductor quantum dots, Applied Physics Letters 85, pp. 2343-2345. [149] Y. Haoquan, R. He, J. Johnson, M. Law, R.J. Saykally and P. Yang (2003), Dendritic nanowire ultraviolet laser array, Journal of American Chemical Society 125, pp. 4728-4729. [150] Y. Fang, S. Guo, C. Zhu, S. Dong, E. Wang (2010), One-dimensional carbon nanotube/SnO2/noble metal nanoparticle hybrid nanostructure: synthesis, characterization, and electrochemical sensing, Chemistry-An Asian Journal 2, pp. 1838-1845. [151] Y. Cheng, P. Xiong, C.S. Yun, G.F. Strouse, J.P. Zheng, R. Yang and Z.L. Wang (2008), Mechanism and optimization of pH sensing using SnO2 nanobelt field effect transistors, Nano Letters 8, pp. 4179-4184. [152] Y.J. Li, K.M. Li, C.Y. Wang, C.I. Kuo, L.J. Chen (2012), Low-temperature electrodeposited Co-doped ZnO nanorods with enhanced ethanol and CO sensing properties, Sensors and Actuators B 161, pp. 734-739. [153] Y.J. Choi, I.S. Hwang, J.G. Park, K.J. Choi, J.H. Park, J.H. Lee (2008), Novel fabrication of an SnO2 nanowire gas sensor with high sensitivity, Nanotechnology 19, pp. 095508-095512. [154] Y. Liu, W. Zhu, O.K. Tan, X. Yao, Y. Shen (1996), Structure and gas-sensing properties of nanometer tin oxide prepared by PECVD, Journal of Materials Science: Materials in Electronics 7, pp. 279-282. [155] Y. Wang, X. Jiang and Y. Xia (2003), A solution-phase, precursor route to polycrystalline SnO2 nanowires that can be used for gas sensing under ambient 141 conditions, Journal of America Chemical Society 125, pp. 16176-16177. [156] Y.S. He, J.C. Campell, R.C. Murphy, M. F. Arendt and J.S. Swinnea (1993), Electrical and optical characterization of Sb-SnO2, Journal of Materials Research 8, pp. 3131-3134. [157] Y. Wu, J. Xiang, C. Yang, W. Lu, C.M. Lieber (2004), Single-crystal metallic nanowires and metal/semiconductor nanowire heterostructures, Nature 430, pp. 61- 65. [158] Y. Zhang, J. Xu, Y. Zhu, X. Chen and W. Yu (2010), Decoration of ZnO nanowires with Pt nanoparticles and their improved gas sensing and photocatalytic performance, Nanotechnology 21, pp. 285501-7. [159] Z. Fan, J.C. Ho, T. Takahashi, R. Yerushalmi, K. Takei, A.C. Ford (2009), Toward the development of printable nanowire electronics and sensors, Advanced Materials 21, pp. 3730-3743. [160] Z.W. Pan, Z.R. Dai, Z.L. Wang (2001), Nanobelts of semiconducting oxides, Science 291, pp. 1947–1949. [161] Z. Cai, J. Li (2013), Facile synthesis of single crystalline SnO2 nanowires, Ceramics International 39, pp. 377-382. [162] Z. R. Dai, J. L. Gole, J.D. Stout, Z. L. Zang (2002), Tin oxide nanowires, nanoribbons and nanotubes, Journal of Physical Chemistry B 106, pp. 1274-1279. [163] V. Kumar, S. Sen, K.P. Muthe, N.K. Gaur, S.K. Gupta, J.V. Yakhmi (2009), Copper doped SnO2 nanowires as highly sensitive H2S gas sensor, Sensors and Actuators B. 138, pp. 587–590. [164] N.S. Ramgir, I.S. Mulla, K.P. Vijayamohanan (2005), A room temperature nitric oxide sensor actualized from Ru-doped SnO2 nanowires, Sensors and Actuators B. 107, pp. 708–715. [165] L.L. Fields, J.P. Zheng, Y. Cheng, P. Xiong (2006), Room-temperature low-power hydrogen sensor based on a single tin dioxide nanobelt, Applied Physics Letters 88, pp. 263102. [166] Q. Kuang, C. Lao, Z.L. Wang, Z. Xie, L. Zheng (2007), High-sensitivity humidity sensor based on a single SnO2 nanowire, Journal of the American Chemical Society 129, pp. 6070–6071. [167] X. Han, B. Zhang, S. Guan, J. Liu, X. Zhang, R. Chen (2008), Gas-sensing properties of SnO2 nanobelts synthesized by thermal evaporation of Sn foil, Journal of Alloys and Compound 461, pp. L26–L28. 142 [168] Y. Shen, T. Yamazaki, Z. Liu, D. Meng, T. Kikuta, N. Nakatani, M. Saito and M. Mori (2009), Microstructure and H2 gas sensing properties of undoped and Pd-doped SnO2 nanowires, Sensors and Actuators B. 135, pp. 524–529. [169] I.S. Hwang, J.K. Choi, S.J. Kim, K.Y. Dong, J.H. Kwon, B.K. Ju, J.H. Lee (2009), Enhanced H2S sensing characteristics of SnO2 nanowires functionalized with CuO, Sensors and Actuators B 142, pp. 105–110. [170] M.S. Arnold, P. Avouris, Z.W. Pan, Z.L. Wang (2003), Field-Effect Transistors Based on Single Semiconducting Oxide Nanobelts, Journal of Physical Chemistry B 107, pp. 659–663. [171] E. Strelcov, S. Dmitriev, B. Button, J. Cothren, V. Sysoev, A. Kolmakov (2008), Evidence of the self-heating effect on surface reactivity and gas sensing of metal oxide nanowire chemiresistors, Nanotechnology 19, pp. 355502-355507. [172] J.D. Prades, R. Jimenez-Diaz, F. Hernandez-Ramirez, S. Barth, A. Cirera, A. Romano-Rodriguez, S. Mathur, J.R. Morante (2008), Ultralow power consumption gas sensors based on self-heated individual nanowires, Applied Physics Letters 93, pp. 123110-123112. [173] V.V. Sysoev, T. Schneider, J. Goschnick, I. Kiselev, W. Habitcht, H. Hahn, E. Strelcov, A. Kolmakov (2009), Percolating SnO2 nanowire network as a stable gas sensor: Direct comparison of long-term performance versus SnO2 nanoparticle films, Sensors and Actuators B 139, pp. 699-703.
File đính kèm:
- nghien_cuu_che_tao_cam_bien_khi_co_va_co2_tren_co_so_vat_lie.pdf
- BIA TOM TAT.pdf
- BIA.pdf
- THÔNG TIN TÓM TẮT - Tieng Anh.pdf
- THÔNG TIN TÓM TẮT.pdf
- Tom tat Luan An.pdf