Luận án Nghiên cứu tính toán thiết kế các mạch tích hợp giao thoa đa mode dùng trong mạng toàn quang
Thông tin quang sợi [3] là một trong những thành tựu nổi bật nhất của con người trong
thế kỷ trước, cung cấp giải pháp hữu hiệu cho vấn đề truyền tải thông tin. Sự ra đời của
mạng Internet mang lại một lợi ích to lớn cho tri thức, nhu cầu trao đổi, lưu trữ và xử lý
thông tin của con người. Với sự bùng nổ của các dịch vụ số liệu trên nền Internet, nhu cầu
băng thông phát triển với tốc độ rất nhanh [2]. Để đáp ứng được nhu cầu này, công nghệ
truyền dẫn theo phương thức ghép kênh phân chia theo bước sóng quang –WDM
(wavelength division multiplexing) [115] có khả năng ghép nhiều bước sóng trên một sợi
quang đã đáp ứng nhu cầu phát triển nhanh của các dịch vụ tryền số liệu các dịch vụ video,
các dịch vụ cáp sợi quang đến hộ gia đình –FTTH (fiber to the home) [17] [140] hay các
mạng truy nhập quang thụ động PON (passive optical network) khác. Hơn nữa, với sự phát
triển của các bộ khuếch đại quang [50] đã tạo ra những hệ thống thông tin có cự ly truyền
dẫn rất xa cho các mạng quốc gia hay kết nối liên châu lục.
Trước đây, các thành phần đầu cuối nối với khách hàng và các nút truyền tải có sự
biến đổi tín hiệu giữa miền điện và miền quang hoặc lai ghép giữa miền điện và miền
quang làm chậm tốc độ xử lý bởi đặc điểm về trễ, quán tính và giới hạn lượng tử của điện
tử. Theo xu hướng hiện đại thì các thành phần quang xử lý tín hiệu toàn quang thay thế
hoàn toàn cho các thành phần xử lý có sự biến đổi qua miền điện. Phương pháp xử lý tín
hiệu toàn quang có ưu điểm nổi bật về: tốc độ xử lý, băng thông cao, dễ phối ghép, cho
phép tích hợp cỡ lớn và dễ đóng gói. Do đó các mạng thông tin xử lý tín hiệu toàn quang
AONs (all optical networks) là xu thế phát triển cho các hệ thống thông tin quang thế hệ
mới. Các thành phần vi mạch tích hợp chức năng như các bộ chia quang, kết hợp quang,
phát thu quang, điều chế quang, khuếch đại quang, chuyển mạch quang và ghép/tách quang
là những phần tử cần thiết để xử lý, truyền tải và xen rẽ tín hiệu quang.
Tóm tắt nội dung tài liệu: Luận án Nghiên cứu tính toán thiết kế các mạch tích hợp giao thoa đa mode dùng trong mạng toàn quang
BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI TRƢƠNG CAO DŨNG NGHIÊN CỨU TÍNH TOÁN THIẾT KẾ CÁC MẠCH TÍCH HỢP GIAO THOA ĐA MODE DÙNG TRONG MẠNG TOÀN QUANG LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT VIỄN THÔNG HÀ NỘI - 2015 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI TRƢƠNG CAO DŨNG NGHIÊN CỨU TÍNH TOÁN THIẾT KẾ CÁC MẠCH TÍCH HỢP GIAO THOA ĐA MODE DÙNG TRONG MẠNG TOÀN QUANG Chuyên ngành: Kỹ thuật viễn thông Mã số: 62520208 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT VIỄN THÔNG TẬP THỂ HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: 1. GS. TS. Trần Đức Hân 2. PGS.TS. Lê Trung Thành HÀ NỘI - 2015 i LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan rằng các kết quả khoa học được trình bày trong luận án này là thành quả nghiên cứu của bản thân tôi trong suốt thời gian làm nghiên cứu sinh và chưa từng xuất hiện trong công bố của các tác giả khác. Các kết quả đạt được là chính xác và trung thực. Tác giả luận án Trương Cao Dũng ii LỜI CẢM ƠN Đầu tiên và trên hết, tôi xin bày tỏ lời cảm ơn sâu sắc đến tập thể hướng dẫn khoa học: GS. TS. Trần Đức Hân và PGS.TS. Lê Trung Thành, những người không chỉ hướng dẫn trực tiếp về mặt khoa học mà còn hỗ trợ về mọi mặt để tôi có thể hoàn thành bản luận án này sau hơn ba năm làm nghiên cứu sinh. Tôi cũng xin gửi lời cảm ơn đến TS. Hoàng Vũ Chung –Viện Hàn lâm khoa học Việt Nam, người đưa đến cho tôi sự tư vấn hiệu quả về các vấn đề công nghệ chế tạo ống dẫn sóng cùng với sự hỗ trợ chuyên môn trong suốt thời gian nghiên cứu vừa qua. Tôi cũng xin gửi lời cảm ơn sâu sắc đến em Trần Tuấn Anh – Sinh viên K54, Đại học Bách Khoa Hà Nội – người đã có những đóng góp đắc lực, hỗ trợ tính toán cho các nghiên cứu khoa học của tôi. Qua đây, tôi cũng bày tỏ lòng biết ơn đến Viện Điện tử-Viễn thông và Viện Đào tạo Sau Đại học, Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội đã tạo mọi điều kiện thuận lợi cho tôi trong quá trình học tập nghiên cứu. Cuối cùng, tôi dành những lời yêu thương nhất đến gia đình tôi: bố mẹ, các anh chị và đặc biệt là vợ tôi Vũ Vân Anh và con gái tôi Trương Khánh Chi. Sự động viên, giúp đỡ và sự hi sinh, nhẫn nại của họ là động lực mạnh mẽ giúp tôi vượt qua mọi khó khăn để hoàn thành luận án này. Xin chân thành cảm ơn! Hà Nội, ngày tháng năm 2015 Tác giả luận án Trương Cao Dũng iii Mục lục Mục lục ................................................................................................................................. iii Danh mục các thuật ngữ viết tắt ........................................................................................... vi Danh mục các ký hiệu ........................................................................................................ viii Danh mục các hình vẽ .......................................................................................................... ix Danh mục các bảng biểu ...................................................................................................... xii Mở đầu ................................................................................................................................... 1 Đối tượng và mục tiêu nghiên cứu .................................................................................... 3 Các kết quả đạt được ......................................................................................................... 4 Tổ chức luận án ................................................................................................................. 4 Chương1 ................................................................................................................................ 6 Giao thoa đa mode và mô phỏng BPM .................................................................................. 6 1.1 Giao thoa đa mode .................................................................................................. 6 1.1.1 Cơ sở truyền sóng trong ống dẫn sóng ............................................................ 7 1.1.2 Ống dẫn sóng đa mode và phân tích truyền mode ........................................... 9 1.1.3 Giao thoa tổng quát – GI ............................................................................... 12 1.1.4 Giao thoa hạn chế -RI .................................................................................... 13 1.1.5 Ống dẫn sóng hình búp măng ........................................................................ 15 1.2 Các phương pháp phân tích ống dẫn sóng ............................................................ 17 1.2.1 Phương pháp Marcatili .................................................................................. 17 1.2.2 Phương pháp hệ số hiệu dụng ........................................................................ 18 1.2.3 Phương pháp hệ số hiệu dụng hiệu chỉnh ...................................................... 19 1.3 Các phương pháp mô phỏng số học ...................................................................... 20 1.3.1 Phương pháp truyền chùm BPM ................................................................... 22 1.3.2 Lời giải mode thông qua BPM ...................................................................... 26 1.4 Kết luận chương .................................................................................................... 28 Chương 2 ............................................................................................................................. 29 Bộ chia công suất nhiều tỷ số và chia chùm phân cực sử dụng giao thoa đa mode ............ 29 2.1 Bộ chia công suất nhiều tỷ số dựa trên cấu trúc giao thoa đa mode ..................... 29 2.1.1 Nguyên lý thiết kế.......................................................................................... 30 iv 2.1.2 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 34 2.1.3 Tóm lược kết quả ........................................................................................... 41 2.2 Bộ chia chùm phân cực dựa trên ống dẫn sóng đa mode hình cánh bướm được khắc trên nền vật liệu SOI ............................................................................................... 41 2.2.1 Phân tích và thiết kế....................................................................................... 43 2.2.2 Tối ưu cấu trúc ............................................................................................... 45 2.2.3 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 47 2.2.4 Tóm lược kết quả ........................................................................................... 51 2.3 Kết luận chương .................................................................................................... 51 Chương 3 ............................................................................................................................. 52 Chuyển mạch quang dựa trên cấu trúc giao thoa đa mode .................................................. 52 3.1 Phân tích tổng quát của chuyển mạch quang N×N ............................................... 52 3.2 Bộ chuyển mạch toàn quang dựa trên các bộ ghép giao thoa đa mode 3×3 sử dụng các bộ ghép phi tuyến ...................................................................................................... 55 3.2.1 Phân tích và thiết kế cấu kiện ........................................................................ 55 3.2.2 Mô phỏng và thảo luận .................................................................................. 62 3.3 Bộ chuyển mạch toàn quang 2×2 không nhạy phân cực dựa trên cấu trúc giao thoa đa mode sử dụng các bộ ghép phi tuyến ......................................................................... 67 3.3.1 Thiết kế và tối ưu cấu trúc ............................................................................. 68 3.3.2 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 71 3.4 Bộ chuyển mạch quang 3×3 dựa trên các bộ ghép giao thoa đa mode sử dụng hiệu ứng điện- quang là các bộ dịch pha ................................................................................. 75 3.4.1 Phân tích và thiết kế....................................................................................... 75 3.4.2 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 77 3.5 Kết luận chương .................................................................................................... 82 Chương 4 ............................................................................................................................. 83 Bộ ghép kênh ba bước sóng sử dụng giao thoa đa mode .................................................... 83 4.1 Giới thiệu và nguyên lý thiết kế ............................................................................ 83 4.2 Thiết kế bộ triplexer dựa trên một bộ ghép giao thoa đa mode 2×2 hình cánh bướm và một bộ ghép định hướng sử dụng các ống dẫn sóng silic. ............................... 86 4.2.1 Thiết kế và tối ưu cấu trúc ............................................................................. 86 v 4.2.2 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 91 4.3 Thiết kế bộ triplexer dựa trên phân tầng hai bộ ghép đa mode 2×2 hình cánh bướm sử dụng ống dẫn sóng silic .................................................................................... 94 4.3.1 Phân tích thiết kế và tối ưu cấu trúc .............................................................. 95 4.3.2 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 97 4.4 Kết luận chương .................................................................................................. 100 Kết luận và hướng phát triển ............................................................................................. 101 Đóng góp khoa học của luận án .................................................................................... 101 Hướng phát triển tương lai của luận án ......................................................................... 102 DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ CỦA LUẬN ÁN ............................. 104 Tài liệu tham khảo ............................................................................................................. 105 vi Danh mục các thuật ngữ viết tắt AON All Optical Network Mạng toàn quang AWG Arrayed Waveguide Grating Cách tử ống dẫn sóng được xếp mảng BPM Beam Propagation Method Phương pháp truyền chùm CMOS Complementary Metal Oxide Semiconductor Bán dẫn ô xít kim loại bù COM Complementary Operator Method Phương pháp toán tử bù Cr.T Crosstalk Xuyên nhiễu DC Directional Coupler Bộ ghép định hướng DWDM Dense Wavelength Division Multiplexing Ghép kênh phân chia bước sóng mật độ cao E.L Excess Loss Suy hao vượt qua EBL Electron beam lithography Quang khắc bằng chùm tia điện tử EIM Effective Index Method Phương pháp hệ số chiết suất hiệu dụng EMS Eigenvalue mode solver Lời giải mode giá trị riêng Ex.R Extinction Ratio Tỷ lệ phân biệt FD-BPM Finite Difference Beam Propagation Method Phương pháp truyền chùm sai phân hữu hạn FDM Finite Difference Method Phương pháp sai phân hữu hạn FDTD Finite difference –Time domain Sai phân hữu hạn miền thời gian FEM Finite Element Method Phương pháp phần tử hữu hạn FFT-BPM Fast Fourier Transform Beam Propagation Method Phương pháp truyền chùm biến đổi Fourier nhanh FTTH Fiber to the home Cáp quang đến tận nhà FV-BPM Full vectorial Beam Propagation Method Phương pháp truyền chùm véc tơ đầy đủ GI General Interference Giao thoa tổng quát I.L Insertion Loss Suy hao chèn MDM Mode Division Multiplexing Ghép kênh phân chia theo mode vii MEIM Modified Effective Index Method Phương pháp hệ số chiết suất hiệu dụng được hiệu chỉnh MEMS Mechanic-electronic micro switch Chuyển mạch vi cơ điện tử MMI Multimode Interference Giao thoa đa mode MOC Mode Order Conversion Chuyển đổi thứ tự mode MPA Mode Propagation Analysis Phân tích truyền mode MRR Microring Resonator Bộ vi cộng hưởng vòng MZI Mach-Zehnder Interferometer Giao thoa kế Mach-Zehnder OEICs Opto-electronic Integrated Circuits Vi mạch tích hợp quang-điện tử PhC Photonic Crystal Tinh thể quang tử PICs Photonic Integrated Circuits Mạch tích hợp quang tử PLCs Planar Lightwave Circuits Mạch quang phẳng PML Perfectly Match Layer Lớp thích hợp hoàn hảo PON Passive Optical Network Mạng quang thụ động RI Restrict Interference Giao thoa hạn chế RIE Reactive ion etching Phương pháp khắc bằng chùm ion SI Symetric Interference Giao thoa đối xứng SOI Silicon on Insulator Silic trên nền chất cách điện SV BPM Semi-vectorial Beam Propagation Method Phương pháp truyền chùm bán véc tơ TBC Transparent Boundary Condition Điều kiện biên trong suốt TE Transverse Electric Sóng điện ngang TEM Transverse Electromangnetic Sóng điện từ ngang TM Transverse Magnetic Sóng từ ngang TMM Transfer Matrix Method Phương pháp ma trận truyền đạt WA-BPM Wide angle – Beam Propagation Method Phương pháp truyền chùm góc rộng WDM Wavelength Division Multiplexing Ghép kênh phân chia bước sóng viii Danh mục các ký hiệu cn Chiết suất lớp vỏ ống dẫn sóng sn Chiết suất lớp đế (hay lớp nền) ống dẫn sóng eW Chiều rộng hiệu dụng bộ ghép đa mode MMIL Chiều dài bộ ghép giao thoa đa mode L Nửa chiều dài phách của bộ ghép đa mode inP Công suất đầu vào ống dẫn sóng outP Công suất đầu ra ống dẫn sóng dP Công suất ống dẫn sóng đầu ra mong muốn ( )u totP Tổng công suất từ các ống dẫn sóng đầu ra không mong muốn ( )totP Tổng công suất từ các bước sóng đầu vào không mong muốn đưa đến cổng đầu ra mong muốn Hệ số mũ chỉ trạng thái phân cực. =0 với mode TE và =1 với mode TM c Hệ số biên độ mode thứ Thứ tự mode trong cơ chế giao thoa đa mode Góc dịch pha (rad) F t Phép lấy vi phân hàm F theo biến riêng t .N A Khẩu độ số: góc tới lớn nhất có thể truyền được trong ống dẫn sóng (để phản xạ toàn phần trong ống dẫn sóng) Bước sóng hoạt động trong ống dẫn sóng rn (hoặc fn ) Chiết suất lớp lõi ống dẫn sóng MMIW Chiều rộng bộ ghép giao thoa đa mode ix Danh mục các hình vẽ Hình 1.1 Sơ đồ của một ống dẫn sóng đa mode N×M theo hình chiếu bằng. ....................... 9 Hình 1.2. Biểu diễn hai chiều của một ống dẫn sóng hệ số chiết suất bậc hai chiều .......... 10 Hình 1.3. Sơ đồ của một bộ chia hoặc kết hợp quang 1:N dựa trên cấu trúc giao thoa đối xứng. .................................................................................................................................... 15 Hình 1.4. Các ống dẫn sóng có chiều rộng biến đổi tuy ... 803, 2008. [87] Luan, F., M. D. Pelusi, M. R. E. Lamont, D.-Y. Choi, S. Madden, B. Luther-Davies, and B. J. Eggleton, “Dispersion engineered As2S3 planar waveguides for broadband four-wave mixing based wavelength conversion of 40 Gb/s signals,” Opt. Express, vol. 17, no. 5, pp. 3514–20, Mar. 2009. [88] Maese-Novo, A., R. Halir, S. Romero-García, D. Pérez-Galacho, L. Zavargo-Peche, A. Ortega-Moñux, I. Molina-Fernández, J. G. Wangüemert-Pérez, and P. Cheben, “Wavelength independent multimode interference coupler,” Opt. Express, vol. 21, no. 6, pp. 7033–40, 2013. [89] Maier, S. A., “Plasmonics: The Promise of Highly Integrated Optical Devices,” IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron., vol. 12, no. 6, pp. 1671–1677, Nov. 2006. [90] Majumdar, A., N. Manquest, A. Faraon, and J. Vuckovic, “Theory of electro-optic modulation via a quantum dot coupled to a nano-resonator.,” Opt. Express, vol. 18, no. 5, pp. 3974–84, Mar. 2010. [91] Marcatili, E. A. ., “Dielectric rectangular waveguide and directional coupler for integrated optics,” Bell Syst. Tech. J., vol. 48, no. 21, pp. 2071–2102, 1969. [92] Matsuo, S., Y. Yoshikuni, T. Segawa, Y. Ohiso, and H. Okamoto, “A widely tunable optical filter using ladder-type structure,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 15, no. 8, pp. 1114–1116, 2003. [93] Miya, T., “Silica-Based Planar Lightwave Circuits : Passive and Thermally Active Devices,” IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron., vol. 6, no. 1, pp. 38–45, 2000. [94] Oguma, M., K. Jinguji, T. Kitoh, T. Shibata, and A. Himeno, “Flat-passband interleave filter with 200 GHz channel spacing based on planar lightwave circuit- type lattice structure,” Electronics Letters, vol. 36, no. 15. p. 1299, 2000. 111 [95] Okuno, M., A. Sugita, K. Jinguji, and M. Kawachi, “Birefringence Control of Silica Waveguides on Si and Its Application to a Polarization-Beam Splitter/Switch,” J. Light. Technol., vol. 12, no. 4, 1994. [96] Oulton, R. F., V. J. Sorger, D. a. Genov, D. F. P. Pile, and X. Zhang, “A hybrid plasmonic waveguide for subwavelength confinement and long-range propagation,” Nat. Photonics, vol. 2, no. 8, pp. 496–500, Jul. 2008. [97] Ozbay, E., “Plasmonics: Merging Photonics and Electronics at Nanoscale Dimensions,” Science (80-. )., vol. 311, no. 5758, pp. 189–193, 2006. [98] Papadimitriou, G. I., C. Papazoglou, and A. S. Pomportsis, “Optical Switching : Switch Fabrics , Techniques , and Architectures,” J. Light. Technol., vol. 21, no. 2, pp. 384–405, 2003. [99] Pelusi, M. D., F. Luan, S. Madden, D. Choi, D. A. Bulla, S. Member, and B. J. Eggleton, “Wavelength Conversion of High-Speed Phase and Intensity Modulated Signals Using a Highly Nonlinear Chalcogenide Glass Chip,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 22, no. 1, pp. 2009–2011, 2010. [100] Pogossian, S. P., L. Vescan, and a. Vonsovici, “The single-mode condition for semiconductor rib waveguides with large cross section,” J. Light. Technol., vol. 16, no. 10, pp. 1851–1853, 1998. [101] Prajzler, V., V. Jurka, and V. Jerabek, “Modeling of the Multimode Polymer Interference Optical Wavelength 1490 / 1555 nm Demultiplexer,” in 17th Opto- Electronics and Communications Conference (OECC 2012), 2012, no. July, pp. 631–632. [102] Prokopidis, K. P. and D. C. Zografopoulos, “A Unified FDTD / PML Scheme Based on Critical Points for Accurate Studies of Plasmonic Structures,” J. Light. Technol., vol. 31, no. 15, pp. 2467–2476, 2013. [103] R.Ulrich, “Light-propagation and imaging in planar optical waveguides,” Nouv. Rev. d’Optique, vol. 6, no. 5, pp. 253–262, 1975. [104] Rahman, B. and J. Davies, “Finite-element solution of integrated optical waveguides,” J. Light. Technol., vol. 2, no. 5, pp. 682–688, 1984. [105] Rahman, B. M. a., N. Somasiri, C. Themistos, and K. T. V. Grattan, “Design of optical polarization splitters in a single-section deeply etched MMI waveguide,” Appl. Phys. B, vol. 73, no. 5, pp. 613–618, Oct. 2001. [106] Rothschild, M., T. M. Bloomstein, T. H. Fedynyshyn, R. R. Kunz, V. Liberman, M. Switkes, N. N. Efremow, S. T. Palmacci, J. H. C. Sedlacek, D. E. Hardy, and A. Grenville, “Recent Trends in Optical Lithography,” Lincoln labratory J., vol. 14, no. 2, pp. 221–236, 2003. [107] Routers, C. P., “Design of Optical Full Encoders / Decoders for,” J. Light. Technol., vol. 22, no. 7, pp. 1642–1650, 2004. [108] Ruan, Y., B. Luther-Davies, W. Li, A. Rode, V. Kolev, and S. Madden, “Large phase shifts in As2S3 waveguides for all-optical processing devices,” Opt. Lett., vol. 30, no. 19, pp. 2605–7, Oct. 2005. [109] Salvador, R., A. Martinez, C. Garcia-Meca, and J. Marti, “Analysis of Hybrid Dielectric Plasmonic Waveguides,” IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron., vol. 14, no. 6, pp. 1496–1501, 2008. 112 [110] Scarmozzino, R., a. Gopinath, R. Pregla, and S. Helfert, “Numerical techniques for modeling guided-wave photonic devices,” IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron., vol. 6, no. 1, pp. 150–162, Jan. 2000. [111] Scarmozzino, R. and R. M. Osgood, Jr., “Comparison of finite-difference and Fourier-transform solutions of the parabolic wave equation with emphasis on integrated-optics applications,” J. Opt. Soc. Am. A, vol. 8, no. 5, p. 724, 1991. [112] Shi, Y., S. Anand, and S. He, “Design of a Polarization Insensitive Triplexer Using Directional Couplers Based on Submicron Silicon Rib Waveguides,” J. Light. Technol., vol. 27, no. 11, pp. 1443–1447, 2009. [113] Shi, Y., D. Dai, and S. He, “Novel Ultracompact Triplexer Based on Photonic,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 18, no. 21, pp. 2293–2295, 2006. [114] Shih, T., Y. Wu, and J. Lee, “Proposal for Compact Optical Triplexer Filter Using 2- D Photonic Crystals,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 21, no. 1, pp. 18–20, Jan. 2009. [115] Smit, M. K. and C. Van Dam, “PHASAR-Based WDM-Devices: Principles, Design and Applications,” IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron., vol. 2, no. 2, pp. 236–250, 1996. [116] Song, Y., J. Wang, M. Yan, and M. Qiu, “Efficient coupling between dielectric and hybrid plasmonic waveguides by multimode interference power splitter,” J. Opt., vol. 13, no. 7, p. 075002, Jul. 2011. [117] Spencer, M., F. Chen, C. C. Wang, R. Nathanael, H. Fariborzi, A. Gupta, H. Kam, V. Pott, J. Jeon, T. J. K. Liu, D. Marković, E. Alon, and V. Stojanović, “Demonstration of integrated micro-electro-mechanical relay circuits for VLSI applications,” IEEE J. Solid-State Circuits, vol. 46, no. 1, pp. 308–320, 2011. [118] Sugisaka, J., N. Yamamoto, M. Okano, and K. Komori, “Demonstration of a photonic crystal directional coupler switch with ultra short switching length,” Photonics Nanostructures Fundam. Appl., vol. 2, no. 1, pp. 1–2, 2008. [119] Suzuki, S., K. Oda, and Y. Hibino, “Integrated-optic double-ring resonators with a wide free spectral range of 100 GHz,” J. Light. Technol., vol. 13, no. 8, pp. 1766– 1771, 1995. [120] Syuhaimi, M., A. Rahman, K. M. Shaktur, and R. Mohammad, “Analytical And Simulation Of New Electro-Optic 3×3 Switch Using Ti: LiNbO3 As a Wave Guide Medium,” Int. Conf. Photonics, pp. 4–8, 2010. [121] Ta, V. G., N. J. Baker, L. Fu, K. Finsterbusch, M. R. E. Lamont, D. J. Moss, H. C. Nguyen, B. J. Eggleton, D. Y. Choi, S. Madden, and B. Luther-davies, “Ultrafast all-optical chalcogenide glass photonic circuits,” Opt. Express, vol. 15, no. 15, pp. 5860–5865, 2007. [122] Ta, V. G., N. J. Baker, L. Fu, K. Finsterbusch, M. R. E. Lamont, D. J. Moss, H. C. Nguyen, B. J. Eggleton, D. Y. Choi, S. Madden, and B. Luther-davies, “Ultrafast all-optical chalcogenide glass photonic circuits,” Opt. Express, vol. 15, no. 15, pp. 5860–5865, 2007. [123] Tajaldini, M. and M. Z. M. Jafri, “Simulation of an ultra-compact multimode interference power splitter based on kerr nonlinear effect,” J. Light. Technol., vol. 32, no. 7, pp. 1282–1289, 2014. 113 [124] Takahashi, H., “High performance planar lightwave circuit devices for large capacity transmission.,” Opt. Express, vol. 19, no. 26, pp. B173–80, Dec. 2011. [125] Takenaka, M. T. M. and Y. N. Y. Nakano, Multimode interference bistable laser diode, vol. 15, no. 8. 2003, pp. 1035–1037. [126] Talbot, H. F., “Facts relating to optical science,” Philos. Mag. Ser. 3, vol. LXXVI, no. IV, pp. 401–407, Dec. 1836. [127] Thapliya, R., S. Nakamura, and T. Kikuchi, “Electro-optic multimode interference device using organic materials,” Appl. Opt., vol. 45, no. 21, pp. 5404–5413, 2006. [128] Trinh, P. D., S. Yegnanarayanan, F. Coppinger, B. Jalali, and S. Member, “Wavelength Multi / Demultiplexer with Extremely Low-Polarization Sensitivity,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 9, no. 7, pp. 940–942, 1997. [129] Tsai, Y.-J., A. Degiron, N. M. Jokerst, and D. R. Smith, “Plasmonic multi-mode interference couplers,” Opt. Express, vol. 17, no. 20, pp. 17471–82, Sep. 2009. [130] Tseng, S., S. Choi, and B. Kippelen, “generated planar holograms on multimode interference couplers,” Opt. Lett., vol. 34, no. 4, pp. 512–514, 2009. [131] Tseng, S.-Y., C. Fuentes-Hernandez, D. Owens, and B. Kippelen, “Variable splitting ratio 2×2 MMI couplers using multimode waveguide holograms,” Opt. Express, vol. 15, no. 14, pp. 9015–21, Jul. 2007. [132] Tsilipakos, O., A. Pitilakis, A. C. Tasolamprou, T. V. Yioultsis, and E. E. Kriezis, “Computational techniques for the analysis and design of dielectric-loaded plasmonic circuitry,” Opt. Quantum Electron., vol. 42, no. 8, pp. 541–555, 2011. [133] Tu, X., S. Seng, N. Ang, A. B. Chew, J. Teng, T. Mei, and S. Member, “An Ultracompact Directional Coupler Based on GaAs Cross-Slot Waveguide,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 22, no. 17, pp. 1324–1326, 2010. [134] Uematsu, T., Y. Ishizaka, Y. Kawaguchi, K. Saitoh, and M. Koshiba, “Design of a Compact Two-Mode Multi/Demultiplexer Consisting of Multimode Interference Waveguides and a Wavelength-Insensitive Phase Shifter for Mode-Division Multiplexing Transmission,” J. Light. Technol., vol. 30, no. 15, pp. 2421–2426, Aug. 2012. [135] Ulrich, R. and G. Ankele, “Self-imaging in homogeneous planar optical waveguides,” Appl. Phys. Lett., vol. 27, no. 6, p. 337, 1975. [136] Wang, F., J. Yang, L. Chen, X. Jiang, and M. Wang, “Optical Switch Based on Multimode Interference Coupler,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 18, no. 2, pp. 421–423, 2006. [137] Wang, Q. and J. Yao, “A high speed 2×2 electro-optic switch using a polarization modulator,” Opt. Express, vol. 15, no. 25, pp. 16500–5, 2007. [138] Wang, Y., Y. Wei, Y. Huang, Y. Tu, D. Ng, C. Lee, Y. Zheng, B. Liu, and S. Ho, “Silicon / III-V laser with super-compact diffraction grating for WDM applications in electronic-photonic integrated circuits,” Opt. Express, vol. 19, no. 3, pp. 2006– 2013, 2011. [139] Wang, Z., Y. Tang, L. Wosinski, and S. He, “Experimental Demonstration of a High Efficiency Polarization Splitter Based on a One-Dimensional Grating With a Bragg Reflector Underneath,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 22, no. 21, pp. 1568– 1570, 2010. 114 [140] Xiao, J., X. Liu, and X. Sun, “Design of an ultracompact MMI wavelength demultiplexer in slot waveguide structures,” Opt. Express, vol. 15, no. 13, pp. 8300– 8, Jun. 2007. [141] Xu, C., X. Hong, and W.-P. Huang, “Design optimization of integrated BiDi triplexer optical filter based on planar lightwave circuit.,” Opt. Express, vol. 14, no. 11, pp. 4675–86, May 2006. [142] Xu, D., A. Densmore, P. Waldron, J. Lapointe, E. Post, A. Delâge, S. Janz, P. Cheben, J. H. Schmid, and B. Lamontagne, “High bandwidth SOI photonic wire ring resonators using MMI couplers,” Opt. Express, vol. 15, no. 6, 2007. [143] Xu, J., M. Galili, H. C. H. Mulvad, L. K. Oxenløwe, A. T. Clausen, P. Jeppesen, B. Luther-, S. Madden, A. Rode, D. Choi, M. Pelusi, F. Luan, and B. J. Eggleton, “Error-free 640 Gbit / s demultiplexing using a chalcogenide planar waveguide chip,” Opto-Electronics Commun. Conf. Aust. Conf. Opt. Fibre Technol. OECC/ACOFT, vol. 2, pp. 3–4, 2008. [144] Yamauchi, J., M. Sekiguchi, O. Uchiyama, J. Shibayama, and H. Nakano, “Modified finite-difference formula for the analysis of semivectorial modes in step- index optical waveguides,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 9, no. 7, pp. 961– 963, Jul. 1997. [145] Yamauchi, J., J. Shibayama, O. Saito, O. Uchiyama, and H. Nakano, “Improved finite-difference beam-propagation method based on the generalized Douglas scheme and its application to semivectorial analysis,” J. Light. Technol., vol. 14, no. 10, pp. 2401–2406, 1996. [146] Yamauchi, J., G. Takahashi, and H. Nakano, “Full-vectorial beam-propagation method based on the McKee-Mitchell scheme with improved finite-difference formulas,” J. Light. Technol., vol. 16, no. 12, pp. 2458–2464, 1998. [147] Yamauchi, J., J. U. N. Shibayama, and H. Nakano, “Application of the generalized Douglas scheme to optical waveguide analysis,” Opt. quantum Electron., no. 1993, pp. 675–687, 1999. [148] Yamauchi, J., J. Shibayama, O. Saito, O. Uchiyama, and H. Nakano, “Improved finite-difference beam-propagation method based on the generalized Douglas scheme and its application to semivectorial analysis,” J. Light. Technol., vol. 14, no. 10, pp. 2401–2406, 1996. [149] Yang, B., S. Shin, and D. Zhang, “Ultrashort Polarization Splitter Using Two-Mode Interference in Silicon Photonic Wires,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 21, no. 7, pp. 432–434, Apr. 2009. [150] Ye, N., M. Gleeson, H. Yang, H. Zhang, B. Roycroft, K. Thomas, A. Gocalinska, E. Pelucchi, Z. Li, D. Richardson, H. Chen, A. M. J. Koonen, J. Zhao, F. G. Gunning, F. Peters, and B. Corbett, “Demonstration of 90 ° Optical Hybrid at 2 µm Wavelength Range Based on 4 × 4 MMI Using Diluted Waveguide,” in Proc. 40th Eur. Conf. on Opt. Comm. (ECOC), 2014, pp. 4–6. [151] Yehia, A., S. Member, and D. Khalil, “Design of a Compact Three-Dimensional Multimode Interference Phased Array Structures (3-D MMI PHASAR) for DWDM Applications,” IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron., vol. 11, no. 2, pp. 444–451, 2005. 115 [152] Yevick, D. and B. Hermansson, “Efficient beam propagation techniques,” IEEE J. Quantum Electron., vol. 26, no. 1, pp. 109–112, 1990. [153] Zhou, J., P. Gallion, and S. Member, “Operation Principles for Optical Switches Based on Two Multimode Interference Couplers,” J. Light. Technol., vol. 30, no. 1, pp. 15–21, 2012. [154] Zhu, L., Y. Huang, and A. Yariv, “Integration of a Multimode Interference Coupler With a Corrugated Sidewall Bragg Grating in Planar Polymer Waveguides,” IEEE Photonics Technol. Lett., vol. 18, no. 6, pp. 740–742, 2006. [155] Zhu, N., “A novel design of triplexer based on Bragg grating assisted MMI coupler,” in Advances in Optoelectronics and Micro/nano-optics, 2010, vol. 0, no. 1, pp. 1–3.
File đính kèm:
- luan_an_nghien_cuu_tinh_toan_thiet_ke_cac_mach_tich_hop_giao.pdf